Hệ thống phún xạ nội tuyến
-
Hệ thống phún xạ Magnetron nội tuyến
Hệ thống phún xạ Magnetron nội tuyến là một loại thiết bị lắng đọng màng mỏng chân không hoạt động cho các mục đích khác nhau.Các ứng dụng phổ biến nhất của dây chuyền phún xạ của chúng tôi bao gồm:
Sản xuất gương nhôm
- Lớp phủ thủy tinh ITO
- Kính phản quang
- Lớp phủ trang trí cho thép không gỉ và thủy tinh
Hệ sơn này thích hợp cho các ứng dụng sơn chân không cao cấp.Nó tạo ra hiệu suất làm việc ổn định để cải thiện chất lượng của màng phủ chân không.
-
Dây chuyền phún xạ kính Magnetron ITO Glass
Dây chuyền phún xạ kính Magnetron ITO sử dụng công nghệ phún xạ magnetron chân không và công nghệ phún xạ magnetron không cân bằng để phủ lên kính nổi chất lượng cao một lớp SO2/ITO.Dựa trên hệ thống kiểm soát tiên tiến quốc tế.Toàn bộ quá trình sản xuất hoạt động tự động và liên tục.
-
Dây chuyền phún xạ Magnetron nội tuyến gương nhôm
Dây chuyền phún xạ Magnetron nội tuyến gương nhôm được thiết kế cho sản lượng cao của mục đích sản xuất gương kính.Để phủ kính lớn và quan tâm đến tấm kính dễ vỡ, đặc biệt đối với các tấm có kích thước lớn, chúng tôi thường chế tạo loại đường phún xạ nằm ngang.Nó là một dây chuyền sơn magnetron liên tục, với buồng bơm thô phía trước và phía sau, và sau buồng chuyển tiếp, trước và sau buồng bơm mịn, buồng đệm, phòng mạ màu.
Mục tiêu thiết kế: catốt phún xạ magnetron hình trụ hoặc/và catốt phẳng.
Nguồn điện: nguồn điện với phún xạ từ tính DC hoặc MF công suất cao
Hệ thống truyền động: truyền động con lăn, điều chỉnh tần số, hệ thống mở cửa phòng loại cảm ứng.
Hệ thống chân không: bơm khuếch tán (hoặc bơm phân tử turbo) + bơm rễ + bơm cơ học
