Máy phún xạ Magetron
-
Máy phún xạ màng mỏng chân không magnetron
Kỹ thuật phún xạ magnetron chân không là sử dụng bề mặt điện cực cái, lưỡng cực với từ trường của electron trong sự trôi dạt bề mặt catốt, bằng cách đặt điện trường bề mặt mục tiêu vuông góc với từ trường, electron tăng hành trình, tăng tốc độ ion hóa của khí, trong khi các hạt năng lượng cao khí và mất năng lượng sau va chạm và do đó nhiệt độ bề mặt thấp hơn, lớp phủ hoàn chỉnh trên vật liệu không chịu nhiệt.
-
Hệ thống phún xạ magnetron lắng đọng chân không
Hệ thống phún xạ magnetron lắng đọng chân không là một loại thiết bị chân không có thể được sử dụng để áp dụng các lớp phủ màng mỏng trên các vật liệu thô khác nhau bằng các lớp phủ kim loại hoặc chức năng.
-
Máy phủ phún xạ Magnetron cho dao kéo nhựa dùng một lần
Phún xạ Magnetron là một công nghệ lắng đọng màng mỏng được sử dụng rộng rãi hiện nay.Với sự phát triển không ngừng của công nghệ phún xạ và khám phá các bộ phim chức năng mới, ứng dụng phún xạ từ trường đã được mở rộng sang nhiều lĩnh vực sản xuất và nghiên cứu khoa học.Là một công nghệ phủ không nhiệt trong lĩnh vực vi điện tử, nó chủ yếu được sử dụng trong lắng đọng hơi hóa học (CVD) hoặc lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD) để lắng đọng các màng vật liệu mỏng khó phát triển và không phù hợp, và có thể thu được màng mỏng rất đồng đều trên diện tích lớn.
