Máy phún xạ màng mỏng chân không magnetron

Mô tả ngắn:

Kỹ thuật phún xạ magnetron chân không là sử dụng bề mặt điện cực cái, lưỡng cực với từ trường của electron trong sự trôi dạt bề mặt catốt, bằng cách đặt điện trường bề mặt mục tiêu vuông góc với từ trường, electron tăng hành trình, tăng tốc độ ion hóa của khí, trong khi các hạt năng lượng cao khí và mất năng lượng sau va chạm và do đó nhiệt độ bề mặt thấp hơn, lớp phủ hoàn chỉnh trên vật liệu không chịu nhiệt.