Hệ thống phún xạ Magnetron nội tuyến

Mô tả ngắn:

Hệ thống phún xạ Magnetron nội tuyến là một loại thiết bị lắng đọng màng mỏng chân không hoạt động cho các mục đích khác nhau.Các ứng dụng phổ biến nhất của dây chuyền phún xạ của chúng tôi bao gồm:

Sản xuất gương nhôm

Lớp phủ thủy tinh ITO
Kính phản quang
Lớp phủ trang trí cho thép không gỉ và thủy tinh

Hệ sơn này thích hợp cho các ứng dụng sơn chân không cao cấp.Nó tạo ra hiệu suất làm việc ổn định để cải thiện chất lượng của màng phủ chân không.

Gửi email cho chúng tôi

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Máy phủ phún xạ magnetron nội tuyến chủ yếu là lớp phủ phún xạ magnetron DC (hoặc MF) có thể được điều chỉnh cho nhiều mục tiêu, chẳng hạn như: đồng, titan, crom, thép không gỉ, niken và các vật liệu kim loại khác có thể được phủ bằng quy trình phún xạ có thể cải thiện độ bám dính của màng, khả năng tái tạo, mật độ, tính đồng nhất và các đặc tính khác.

một.Các đặc điểm và thông số cơ bản
b.cấu trúc đường ngang có thể được thực hiện đồng thời phủ trên một mặt
c.hiệu quả sản xuất, tốc độ nhanh nhất lên tới 1 phút / nhịp
d.thiết kế mô-đun, bảo trì dễ dàng
đ.quá trình mạ trưởng thành, năng suất cao
f.Catốt phún xạ magnetron DC có thể thay đổi tùy theo yêu cầu của khách hàng
g.hệ thống chân không bao gồm một máy bơm cơ học, máy bơm Roots, máy bơm khuếch tán (bơm phân tử) Thành phần
h.Kích thước thân dây có thể thay đổi tùy theo yêu cầu của khách hàng

1) Các vật liệu thân buồng chân không được sử dụng SUS304, đánh bóng xử lý thành buồng chân không, xử lý hạt phun đánh bóng thành ngoài.
2) Sử dụng van cổng độc lập giữa buồng chân không - van xả ngoài, có thể cắt hiệu quả, ổn định khí xử lý.Hiện tại công ty chúng tôi áp dụng thiết kế van nắp, nó làm kín tốt hơn, bền hơn so với van nắp phổ biến trong nước hiện nay.
3) Truyền sử dụng hướng dẫn từ tính, bảo vệ sự ổn định của ổ đĩa.Đối với mỗi tốc độ của toàn bộ dây chuyền sản xuất sử dụng ổ đĩa động cơ VVVF, tốc độ chạy có thể được điều chỉnh.
4) Hệ thống điều khiển điện: Màn hình cảm ứng và điều khiển tự động PLC, đối thoại giữa người và máy để đạt được hệ thống hiển thị dữ liệu, thông số vận hành và công nghệ điều khiển
1) Áp suất chân không tối đa: 6 × 1 0E-4 Pa
2) chu kỳ sản xuất trung bình: theo sản phẩm được xác định
3) Kích thước giá đỡ chất nền: có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu của
4) Tính đồng nhất của phim: Công nghệ trường di động tiên tiến ± 3% đã tăng cường đáng kể việc sử dụng mục tiêu
Thiết kế lò sưởi phân đoạn có lợi cho việc tối ưu hóa quy trình.