Dây chuyền phún xạ Magnetron nội tuyến gương nhôm

Mô tả ngắn:

Dây chuyền phún xạ Magnetron nội tuyến gương nhôm được thiết kế cho sản lượng cao của mục đích sản xuất gương kính.Để phủ kính lớn và quan tâm đến tấm kính dễ vỡ, đặc biệt đối với các tấm có kích thước lớn, chúng tôi thường chế tạo loại đường phún xạ nằm ngang.Nó là một dây chuyền sơn magnetron liên tục, với buồng bơm thô phía trước và phía sau, và sau buồng chuyển tiếp, trước và sau buồng bơm mịn, buồng đệm, phòng mạ màu.

Mục tiêu thiết kế: catốt phún xạ magnetron hình trụ hoặc/và catốt phẳng.

Nguồn điện: nguồn điện với phún xạ từ tính DC hoặc MF công suất cao

Hệ thống truyền động: truyền động con lăn, điều chỉnh tần số, hệ thống mở cửa phòng loại cảm ứng.

Hệ thống chân không: bơm khuếch tán (hoặc bơm phân tử turbo) + bơm rễ + bơm cơ học